向高精度、高效率方向发展
随着科学技术的不断进步，对精度、效率、质量的要求愈来愈高，超精密加工技术就是要向加工精度的极限冲剌，应该说这种极限是无限的，当前的目标是向纳米级进军.而现状是处于亚微米级水平。
超精密加工理论基础和应用技术发展
4-4-2向大型化、微型化方向发展
由于航天航空等技术的发展，大型光电子器件要求大型超精密加工设备，如美国研制的加工直径为2.4~4m的大型光学器件超精密加工机床。由于微型机械、集成电路的发展，超精密加工技术向微型化发展，如微型传感器，微型驱动元件和动力装置、微型航空航天器件等分fflO-14是利用微细加工技术制作的微S!机械及零件，其中图a为-对带轮，直径为1mm
4.4.3向加工检测一体化发展
由于超精密加工的精度很高，必须发展相应的检测技术才能适应其要求；同时，采用加工和检测独立进行的方法可能由f安装等误差而不能实现，因此，要采用在位检测方法，使加工检测一体化。
4.4.4在线检测与误差补偿
超精密加工的精度很高，影响因素多且复杂.进行在线检测、工况监控以确保加工质童及其稳定性是十分必要的。由于超精密加工的精度很高，加工设备本身的精度有时很难满足要求，就要采用在线检测和误差补偿的方法来提高精度，保证加工质豪的要求。
4.4.5新型精密加工方法的机理
加工机理的研究是新技术的生长点，超精密加工机理涉及微观世界和物质内部结构，所利用的能源包括机、光、危、声、热、化、磁、原子等，十分广泛。不仅可以采用分离去除加工，而且可以采用分层堆积加工方法i既可采取单独加工方法，更可采用复合加工方法。加工机理的研究往往具有突破性"
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